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Halbleiter- und Vakuumausrüstung

Magnetsysteme bei Halbleiter- und Vakuumausrüstung

Die Magnetsystemtechnik von SKF ist frei von Verunreinigungen und daher die ideale Wahl für Tief-Vakuumanwendungen. Sie ist bereits an über 120.000 Stellen der Halbleiter-Herstellungsindustrie und der Vakuumindustrie im Einsatz.

1976 führte SKF die ersten Magnetlager für Turbomolekular-Vakuumpumpen (TMP) ein, um geschmierte mechanische Lager zu ersetzen. Die SKF Magnetsystemtechnik ist heute die Standardlösung und steht für 85 % der in TMPs eingesetzten Einheiten in z. B. Halbleiter- und Instrumentierungsanwendungen. SKF Magnetsysteme für TMPs bieten eine außergewöhnliche Betriebssicherheit selbst unter den härtesten Anwendungsbedingungen, dank hoher Kompaktheit die beste Integration in die Prozessanlage und zusätzlich niedrige Schwingungspegel für Anwendungen mit Elektronenmikroskopen und elektronischen Geräten.

Eigenschaften

  • bewährte Zuverlässigkeit
  • keine Verunreinigungen, dank berührungsloser und schmierungsfreier Rotation
  • Beständigkeit gegenüber korrosiven Gasen
  • hochdrehende Lösung mit minimalem Schwingungspegel dank automatischer Auswuchtung
  • praktisch wartungsfrei
  • sehr kompakt
  • extrem geringe Verluste
  • stoßluft- und stoßbeständig
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