Outils de processus des semi-conducteurs

L’industrie des semi-conducteurs requiert des résultats de processus uniformes, une production élevée, une haute fiabilité et une extrême propreté. Pour répondre à ces défis, les principaux fabricants d’équipements pour semi-conducteurs choisissent des paliers magnétiques.


Nos clients ont pu améliorer leurs résultats de processus en :

  • Accédant aux deux côtés de la plaquette
  • Ajustant la position de la plaquette en fonction du retour envoyé par le processus
  • Tournant sans contact - pas de particules, lubrification ou usure 
  • Répétabilité et précision du positionnement et du contrôle de la vitesse de la plaquette
Pompe turbomoléculaire

SKF fournit aux fabricants d’outils pour semi-conducteurs des solutions innovantes pour les plates-formes de plaquettes de silicium de 200, 300 et 450 mm. 

Nos paliers magnétiques et nos systèmes d'entraînement ont fait la preuve de leur capacité à répondre aux strictes exigences de l’industrie des semi-conducteurs et présentent un temps moyen entre défaillances supérieur à 800 000 heures. 

En outre, ils représentent la solution idéale pour les pompes à vide turbomoléculaires, avec plus de 120 000 références dans les équipements de fabrication de cellules solaires, d’écrans plats et de semi-conducteurs.

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