Équipements sous vide et de semi-conducteurs

Systèmes magnétiques dans les équipements sous vide et de semi-conducteurs

La technologie des systèmes magnétiques SKF est sans contamination et représente donc la solution idéale pour les applications sous vide. Elle est présente dans plus de 120 000 références en fonctionnement dans l'industrie des équipements de fabrication de semi-conducteurs et dans l'industrie du vide.

SKF a introduit les premiers paliers magnétiques pour pompes turbomoléculaires à vide (TMP) à haute vitesse en 1976, pour remplacer les roulements mécaniques lubrifiés. La technologie des systèmes magnétiques représente aujourd'hui la solution standard pour 85 % des TMP dans les applications de semi-conducteurs, dépôt de verre et instrumentation. Les systèmes magnétiques SKF pour TMP font preuve d'une exceptionnelle fiabilité dans les applications les plus difficiles, d'une compacité élevée pour une intégration optimale avec les outils de traitement des semi-conducteurs et de faibles niveaux de vibrations pour l'utilisation avec des instruments et des microscopes électroniques.

Caractéristiques

  • fiabilité éprouvée
  • aucune contamination car la rotation est sans contact ni lubrification
  • résistance aux gaz corrosifs
  • solution à haute vitesse minimisant les niveaux de vibrations grâce à l'équilibrage automatique
  • pratiquement aucune maintenance
  • haute compacité
  • pertes extrêmement faibles
  • résistance aux chocs et irruptions d'air
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