Équipements sous vide et de semi-conducteurs

Systèmes magnétiques dans les équipements sous vide et de semi-conducteurs

Schéma 3D d'une pompe turbomoléculaire

La technologie des systèmes magnétiques SKF est sans contamination et représente donc la solution idéale pour les applications sous vide. Elle est présente dans plus de 120 000 références en fonctionnement dans l'industrie des équipements de fabrication de semi-conducteurs et dans l'industrie du vide. Elle est largement appliquée aux pompes à vide turbomoléculaires et fait preuve d'une fiabilité exceptionnelle avec les qualités suivantes :

  • Temps moyen entre défaillances (MTBF) de plus de 400 000 heures dans les applications les plus difficiles
  • compacité élevée pour une intégration optimale avec les outils de traitement des semi-conducteurs
  • faibles niveaux de vibrations pour l'utilisation avec des instruments et des microscopes électroniques
  • Pratiquement aucune maintenance


Le système magnétique SKF est la solution idéale pour le traitement thermique rapide (RTP) et les équipements similaires et permet de commander la rotation et la translation dans des environnements sous vide difficiles, entre autres le gaz corrosif.

SKF se concentre sur la livraison de solutions innovantes aux équipementiers, appliquées sur des plates-formes de plaquettes en silicone de 200 mm, 300 mm et maintenant 450 mm.

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