半导体和真空设备

用于半导体和真空设备的磁性系统

涡轮分子泵 3D 图

SKF 磁浮系统技术是无污染的,因此,它在深度真空应用的解决方案,在半导体制造设备行业和真空行业中拥有超过 120,000 个应用案例。 本技术广泛应用于涡轮分子真空泵,具有出色的可靠性:

  • 在环境最严峻的情况下平均无故障时间 (MTBF) 达到 400 000 小时。
  • 高紧凑性,最适合集成在半导体过程工具中
  • 低振动水平,适用于电子显微镜和仪器
  • 基本免维护


SKF 磁浮系统是快速热处理(RTP)和类似设备的首选解决方案,并在苛刻的真空环境(包括腐蚀性气体)中提供平移和旋转控制。

SKF 注重为已应用 200mm、300mm 和现在 450mm 硅片平台的 OEM 客户带来了创新的解决方案。

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