半导体和真空设备

用于半导体和真空设备的磁性系统

由于SKF磁性系统无污染物,因此它是深真空应用的解决方案。 目前,它在半导体制造设备行业和真空行业中拥有超过120,000个应用案例。

SKF在1976年将磁性轴承用于高速真空涡轮分子泵(TMP),以取代带润滑的机械轴承。 如今,SKF磁性系统技术用于85%的半导体、玻璃沉淀物和仪器仪表应用的TMP。 SKF的TMP磁性系统在尤其苛刻的应用中表现出高水准的可靠性,并在半导体处理工具上拥有高集成紧凑性,同时也在电子显微镜和仪器仪表应用中拥有低振动水平。

特点

  • 已经证实的可靠性
  • 无污染,由于无接触和无润滑旋转
  • 可耐受腐蚀性气体
  • 由于其自动平衡的特性,该高速解决方案的振动水平最低
  • 基本上无需维护
  • 高紧凑性
  • 极少损失
  • 空气侵入和冲击
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