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Strumenti di lavorazione dei semiconduttori

Il settore semiconduttori richiede risultati di lavorazione coerenti, elevati livelli di produttività e affidabilità e condizioni di pulizia estrema. Per raggiungere tali obiettivi, i principali produttori di attrezzature per il settore semiconduttori stanno optando per i cuscinetti magnetici.


I nostri clienti sono riusciti a ottenere migliori risultati di processo grazie a:

  • Accesso a entrambi i lati dei wafer
  • Regolazione della posizione dei wafer in base ai feeback di processo
  • Rotazione senza contatto, ovvero eliminazione di particelle, lubrificazione e usura 
  • Posizionamento ripetibile e preciso dei wafer e controllo della velocità
Pompa turbomolecolare

SKF ha sviluppato soluzioni innovative per i produttori di attrezzature per il settore semiconduttori per piattaforme per wafer di silicio da 200, 300 e 450 mm.  

I nostri cuscinetti magnetici e i sistemi di azionamento si sono ampiamente dimostrati conformi alle rigorose specifiche del settore semiconduttori con un MTBF (tempo medio tra guasti) documentato di oltre 800.000 ore. 

Inoltre, costituiscono la soluzione preferenziale per le pompe turbomolecolari a vuoto, con oltre 120.000 riferimenti per le attrezzature di produzione di semiconduttori, schermi piatti e celle solari.

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