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Equipamento de vácuo e semicondutores

Sistemas magnéticos em equipamento de vácuo e semicondutores

A tecnologia de sistemas magnéticos SKF é livre de contaminação e, portanto, é a solução preferida para aplicações de alto vácuo. Ela está presente em mais de 120 mil referências em operação na indústria de equipamentos de fabricação de semicondutores e na indústria de vácuo.

A SKF lançou os primeiros rolamentos magnéticos para bombas turbomoleculares de vácuo (TMP) de alta velocidade em 1976, para substituir rolamentos mecânicos lubrificados. A tecnologia de sistemas magnéticos SKF é, atualmente, a solução padrão que representa 85% das TMPs em aplicações de semicondutores, deposição em vidro e instrumentação. Os sistemas magnéticos SKF para TMPs demonstram níveis excepcionais de confiabilidade nas mais árduas aplicações, alta compacidade para a melhor integração nas ferramentas de processo de semicondutores e baixos níveis de vibração para aplicação em instrumentação e microscópios eletrônicos.

Recursos

  • confiabilidade comprovada
  • nenhuma contaminação, pois a rotação é sem contato ou lubrificação
  • resistência a gases corrosivos
  • solução de alta velocidade com nível de vibração minimizado, graças ao balanceamento automático
  • praticamente dispensa manutenção
  • alta compacidade
  • perdas extremamente baixas
  • à prova de choque e entrada de ar
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