Полупроводниковое и вакуумное оборудование

Использование магнитных систем в полупроводниковом и вакуумном оборудовании.

При использовании технологий магнитных систем SKF отсутствует риск попадания загрязнений, именно поэтому они оптимально подходят для использования в условиях глубокого вакуума. Технология уже применена более чем в 120 000 установок, относящихся к полупроводниковому и вакуумному оборудованию.

В качестве замены смазываемых механических подшипников в 1976 г. SKF внедрила первые магнитные подшипники для высокоскоростных вакуумных турбомолекулярных насосов (TMP). В настоящее время технология магнитных систем SKF стандартно используется и применена уже в 85 % ТМР в полупроводниковой, стекольной и приборостроительной отраслях. Магнитные системы SKF демонстрируют высокую степень надёжности при работе даже в самых тяжёлых условиях, а благодаря своей компактной конструкции легко встраиваются в оборудование для производства полупроводников. Низкий уровень вибрации позволяет использовать их в электронных микроскопах и других приборах.

Характеристики

  • надёжность
  • отсутствие загрязнений благодаря бесконтактному и не содержащему смазки вращению
  • устойчивость к агрессивным газам
  • высокоскоростное решение с пониженным уровнем вибрации благодаря автоматической балансировке
  • практически не требуют техобслуживания
  • компактность
  • очень низкий уровень потерь
  • устойчивость к попаданию воздуха и ударопрочность
SKF logo