Halbleiterverarbeitungswerkzeuge

Die Halbleiterindustrie stellt höchste Anforderungen an gleichbleibende Prozessergebnisse, hohe Zuverlässigkeit und größte Reinlichkeit. Um diesen Herausforderungen zu begegnen, entscheiden sich wichtige Hersteller von Halbleiterkomponenten für die Verwendung von Magnetlagern.


Unsere Kunden konnten Ihre Prozessergebnisse dank folgender Vorzüge optimieren:

  • Zugänglichkeit beider Seiten des Wafers
  • Anpassung der Wafer-Position an Prozessrückmeldungen
  • Berührungslose Rotation – keine Partikel, keine Schmierung, kein Verschleiß 
  • Wiederholbare und präzise Wafer-Positionierung und Drehzahlsteuerung
Turbomolekular-Pumpe

SKF stellt bisher innovative Lösungen für die Hersteller von Halbleiterwerkzeugen her, für 200-, 300- und 450-mm-Siliziumscheiben in Wafer-Anwendungen. 

Unsere Magnetlager und Antriebssysteme haben sich bereits durch Einhaltung der strengen Standards in der Halbleiterindustrie bewährt und bieten nachweislich eine mittlere störungsfreie Zeit von über 800.000 Stunden. 

Darüber hinaus sind sie mit über 120.000 Installationen bei Herstellungsanwendungen von Halbleitern, Flachbildschirmen und Solarzellen die bevorzugte Lösung im Bereich Turbomolekular-Vakuumpumpen.

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